潔凈度檢測是無塵室性能測試的核心，氣流測試、壓力測試，與泄漏測試，都旨在確認無塵室的潔凈度不受外來影響，因此潔凈度測試都放在前述幾項測試都通過之后。檢測完畢，與落塵有關的性能因素就都測試完畢，其它測試對潔凈度影響不大，或是屬于其它環境測試。

　　檢測步驟：

　　（1）確定空調系統之測試調整與平衡已完成，濾網之風速及泄漏測試均已完成，并已修換破損部分。

　　（2）確認測試位置與測試點數。

　　（3）取樣時間：每點的取樣時間依照等級與粒徑不同而異，若取樣時間小于一分鐘，則以一分鐘為準。

　　（4）測試位置應均勻分布在無塵室內，避免在產生大量粒子之附近，且將檢測儀器以適當之架臺支撐，不可以手持支撐。

　　（5）測量點數以公式計算。

　　潔凈度檢測技巧：

　　1、送風量與排風量：如果是紊流潔凈室，那么就要測量其送風量與排風量。若為單向流潔凈室，則要測量其風速。

　　2、各區之間的氣流控制：為證明各區之間氣流運動方向正確，也就是從潔凈區向潔凈度差的區域流動，必須檢測：（1）各區間的壓差正確；（2）門口處或墻、地板等處的開口處氣流運動方向正確，即從潔凈區向潔凈程度差的區域流動。

　　3、過濾器檢漏：對高效過濾器及其外框要進行檢驗，以保證懸浮污染物不會穿過：（1）損壞了的過濾器；（2）過濾器與其外框間的縫隙；（3）過濾器裝置的其他部位而侵入室內。

　　4、隔離檢漏：這項潔凈度檢測是為了證明懸浮污染物不穿過建筑材料侵入潔凈室。